Détecteur de rayons x à semi-conducteur

Semiconductor x-ray detector

Abstract

L'invention concerne un appareil approprié pour la détection de rayons X, comprenant : une couche d'absorption des rayons X (110) comprenant une électrode ; une couche de composants électroniques (120), la couche de composants électroniques (120) comprenant : un substrat (122) comportant une première surface (124) et une seconde surface (128), un système électronique (121) dans ou sur le substrat (122), un contact électrique (125) sur la première surface (124), un trou d'interconnexion (126), et une couche de redistribution (RDL) (123) sur la seconde surface (128) ; la RDL (123) comprenant une ligne de transmission (127) ; le trou d'interconnexion (126) s'étendant à partir de la première surface (124) vers la seconde surface (128) ; l'électrode étant connectée électriquement au contact électrique (125) ; le système électronique (121) étant électriquement connecté au contact électrique (125) et à la ligne de transmission (127) à travers le trou d'interconnexion (126).
An apparatus suitable for detecting x-ray, comprising: an X-ray absorption layer (110) comprising an electrode; an electronics layer (120), the electronics layer (120) comprising: a substrate (122) having a first surface (124) and a second surface (128), an electronics system (121) in or on the substrate (122), an electric contact (125) on the first surface (124), a via (126), and a redistribution layer (RDL) (123) on the second surface (128); wherein the RDL (123) comprises a transmission line (127); wherein the via (126) extends from the first surface (124) to the second surface (128); wherein the electrode is electrically connected to the electric contact (125); wherein the electronics system (121) is electrically connected to the electric contact (125) and the transmission line (127) through the via (126).

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