Procédé et système d'actionnement d'un élément

Method and arrangement for actuating an element

Abstract

L'invention concerne un procédé et un système (100) d'actionnement d'un élément (140) dans un système pour microlithographie. Selon un aspect de l'invention, dans au moins un degré de liberté, une force d'actionnement est exercée sur l'élément au moyen d'au moins deux éléments d'actionneur (110, 120), lesdits éléments d'actionneur étant entraînés indépendamment l'un de l'autre pour générer la force d'actionnement et ledit entraînement étant réalisé de sorte qu'une puissance thermique (P diss ) introduite dans le système en raison de la génération de la force d'actionnement par les éléments d'actionneur s'écarte d'une valeur constante prédéfinie selon une valeur inférieure ou égale à 20%.
Method and arrangement for actuating an element The invention relates to a method and an arrangement (100) for actuating an element (140) in a system for microlithography. According to an aspect in at least one degree of freedom an actuator force is exerted on the element by means of at least two actuator components (110, 120), wherein said actuator components are driven independently of one another for generating the actuator force, and wherein said driving is effected in such a way that a thermal power (P diss ) introduced into the system on account of the generation of the actuator force by the actuator components deviates from a predefined constant value by not more than 20%.

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Patent Citations (4)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-2010149506-A1June 17, 2010Asml Netherlands B.V.Actuator System, Lithographic Apparatus, Method of Controlling the Position of a Component and Device Manufacturing Method
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