Aligneur de position de substratl'ensemble de maintien de substrat sert à maintenir un substrat dans une orientation verticale.

Substrate position aligner

Abstract

A substrate position aligner includes a substrate holding assembly, a plurality of rollers, a rotation mechanism, and a sensor. The substrate holding assembly is configured to hold a substrate in a vertical orientation. The plurality of rollers include at least two idler rollers and a drive roller. Each roller has a point on its perimeter spaced on a common radius from a center of substrate rotation defined within the substrate holding assembly. The sensor is positioned approximately on the common radius and configured to detect the presence of an orientation cut in the substrate when the orientation cut is not orientated within a range between about - 44 degrees and about + 44 degrees from horizontal. A method of aligning a substrate having an orientation cut includes sensing a presence of the orientation cut when the orientation cut is not orientated within the above recited range.
L'invention concerne un aligneur de position de substrat qui comprend un ensemble de maintien de substrat, une pluralité de rouleaux, un mécanisme de rotation et un capteur. L'ensemble de maintien de substrat sert à maintenir un substrat dans une orientation verticale. La pluralité de rouleaux contient au moins deux rouleaux inactifs et un rouleau d'entraînement. Chaque rouleau a un point sur son périmètre séparé sur un rayon commun d'un centre de rotation de substrat défini dans l'ensemble de maintien de substrat. Le capteur est positionné approximativement sur le rayon commun et sert à détecter la présence d'une coupure d'orientation dans le substrat lorsque la coupure d'orientation n'est pas orientée dans une plage comprise entre environ − 44 degrés et environ + 44 degrés par rapport à l'horizontale. Un procédé consistant à aligner un substrat ayant une coupure d'orientation consiste à détecter la présence de la coupure d'orientation quand la coupure d'orientation n'est pas orientée dans la plage susmentionnée.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (5)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-H08288370-ANovember 01, 1996Canon Inc, キヤノン株式会社ウエハ位置決め装置
    US-2002034434-A1March 21, 2002Jong-Won Hong, Seoung-Jae OhWafer flat zone aligner
    US-2004247424-A1December 09, 2004Jakob BlattnerDevice and method for the harmonized positioning of wafer disks
    US-4813840-AMarch 21, 1989Applied Materials, Inc.Method of aligning wafers and device therefor
    US-5183378-AFebruary 02, 1993Tokyo Electron Sagami LimitedWafer counter having device for aligning wafers

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle